第155章 组装光刻机第一片芯片
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首先,指挥几名壮实的搬运工,小心翼翼地将预先加工好的机床运到实验区最核心的区域。
这台机床经过精心设计,采用整块超硬合金材料锻造而成,具有极高的刚性和减震性能,是保证光刻机达到微纳米级加工精度的重要基石。
搬运工经过赵阳的细致指导,耐心调整机床的方位和高度,直到达到精确的水平才牢牢固定,确保机床的定位精度达到设计要求。
接下来,赵阳叫来几名熟练的技术员,开始指导他们把减速电机、丝杠传动系统连接到机床上。
这套丝杠系统采用进口的高精度滚珠丝杠和线性导轨,能够实现精确的直线运动。
技术人员在赵阳的监督下耐心调试,确保了运动的准直度和重复定位精度达到 0.1 微米。
然后,赵阳小心翼翼地打开一个保护箱,取出里面组装好的光学系统安装到机床上。
这个系统包含数块�
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